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          低溫真空探針臺

          簡要描述:低溫真空探針臺 廣泛應用于半導體工業(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域。為了提高系統的實用性,系統還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。

          • 產品型號:
          • 廠商性質:生產廠家
          • 更新時間:2023-09-18
          • 訪  問  量:3195
          詳細介紹
          品牌鄭科探

            低溫真空探針臺是一款為晶片、器件和材料(薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等)提供真空和低溫測試條件下進行非破壞性的電學表征和測量平臺??梢詫Σ牧匣蚱骷M行電學特性測量、光電特性測量、參數測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量,

              低溫真空探針臺廣泛應用于半導體工業(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域。為了提高系統的實用性,系統還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。

             KT-Z1604T探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

               該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環境下精密移位調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-20mm;z方向調節范圍:0-20mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測

          真空腔體

          腔體材質

          304不銹鋼

          上蓋開啟

          鉸鏈側開

          加熱臺材質

          304不銹鋼

          內腔體尺寸

          φ160x90mm

          觀察窗尺寸

          Φ70mm

          加熱臺尺寸

          φ60mm

          觀察窗熱臺間距

          75mm

          加熱臺溫度

          35-350

          加熱臺溫控誤差

          ±1

          真空度

          機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

          允許正壓

          ≤0.1MPa

          真空抽氣口

          KF25真空法蘭

          氣體進氣口

          3mm-6mm卡套接頭

          電信號接頭

          SMA轉BNC X 4

          電學性能

          絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

          探針數量

          4探針

          探針材質

          鎢針  

          探針尖

          10μm

          探針移動平臺

          X軸移動行程

          30mm    ±15mm

          X軸控制精度

          ≤0.01mm

          Y軸移動行程

          13mm    ±12.5mm

          Y軸控制精度

          ≤0.01mm

          Z軸移動行程

          13mm    ±12.5mm

          Z軸控制精度

          ≤0.01mm

          電子顯微鏡

          顯微鏡類別

          物鏡

          物鏡倍數

          0.7-4.5

          工作間距

          90mm

          相機

          sony 高清

          像素

          1920※1080像素

          圖像接口

          VGA

          LED可調光源

          顯示屏

          8

          放大倍數

          19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm



           
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